导读 大家好,我是小典,我来为大家解答以上问题。磁控溅射靶材,磁控溅射很多人还不知道,现在让我们一起来看看吧!1、磁控溅射利用高频磁控管...
大家好,我是小典,我来为大家解答以上问题。磁控溅射靶材,磁控溅射很多人还不知道,现在让我们一起来看看吧!
1、磁控溅射利用高频磁控管的原理,在溅射室中引入一个与电场方向正交的磁场。
2、在此磁场的控制下,电子局限于靶极附近并沿螺旋形轨道运动,大大提高电子对氩原子的电离效率,增加轰击靶极的离子流密度j+,实现快速的大电流溅射。
3、同时,又能避免电子直接向衬底加速,降低衬底的温升。
4、磁控溅射有直流和高频两类。
5、按结构又有同轴型、平面型和S枪等多种类型。
本文到此讲解完毕了,希望对大家有帮助。